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PVD鍍膜要怎么控制氬氣流量?
通常有兩種控制方法:
第一是氣體流量計(jì)。
第二是通過(guò)控制PVD工藝中,爐腔內(nèi)的氣壓,來(lái)控制氬氣流量。
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