真空鍍膜有哪些分類?在光學(xué)、電子學(xué)、理化儀器、包裝、機械以及外表處理技能中經(jīng)常聽到真空鍍膜這個詞。真空鍍膜加工是比較常用的涂層加工方式,就是在真空環(huán)境下,使用蒸鍍、濺射以及隨后凝聚的辦法,在金屬、玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體以及塑料件等物體上鍍上金屬薄膜或者是覆蓋層方法。
真空蒸鍍
其原理是在真空條件下,將離子直接加熱氣化或升華,蒸餾的離子流直接射向基片,并在基片上堆積出固態(tài)薄膜涂層。
濺射鍍膜
濺射鍍膜是真空條件下,在陰極接上2000V高壓電,激起輝光放電,帶正電的氬離子撞擊陰極,使其射出原子,濺射出的原子通過惰性氣氛堆積到基片上構(gòu)成膜層。
離子鍍膜
是在上面兩種真空鍍膜技能基礎(chǔ)融合款,因此兼有兩者的工藝特色。在真空條件下,使用氣體放電使工作氣體或被蒸騰物質(zhì)(膜材)部別離化,并在離子炮擊下,將蒸騰物或其反響物堆積在基片外表。在膜的構(gòu)成過程中,基片一直遭到高能粒子的炮擊,非常清潔。
真空卷繞鍍膜
真空卷繞鍍膜是一種使用物理氣相堆積的辦法在柔性基體上連續(xù)鍍膜的技能,以完成柔性基體的一些功能性、裝飾性屬性。
上述四種都屬于物理氣相堆積技能使用(PVD)。
接下來是化學(xué)氣相堆積(CVD)。它是以化學(xué)反響的方法制造薄膜,原理是一定溫度下,將含有制膜材料的反響氣體通到基片上并被吸附,在基片上發(fā)生化學(xué)反響構(gòu)成核,隨后反響生成物脫離基片外表不斷擴散構(gòu)成薄膜。
束流堆積鍍,結(jié)合了離子注入與氣相堆積鍍膜技能的離子外表復(fù)合處理技能,是一種使用離化的粒子作為蒸鍍資料,在比較低的基片溫度下,構(gòu)成具有良好特性薄膜的技能。