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真空濺射離子鍍膜(PVD)服務(wù)商

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真空鍍膜機(jī)常見故障有哪些?一定要注意!

時(shí)間:2022-08-06    點(diǎn)擊數(shù):

當(dāng)真空鍍膜機(jī)出現(xiàn)故障后應(yīng)先要向使用者了解故障的現(xiàn)象,之后要親自開機(jī)觀察故障,這樣才能更準(zhǔn)確、更快、更合理地排除故障。


排除故障應(yīng)先檢測低真空是否正常(機(jī)械泵、羅茨泵、管道、下室、蒸發(fā)室),低真空正常后再開主泵,主泵正常后檢測下室真空中是否正常,下室真空正常再開高閥進(jìn)行高真空檢測檢漏,直至達(dá)到真空,極限真空、保真空、恢復(fù)真空,如極限真空和保真空正常,而恢復(fù)真空和真空不正常則可能主泵有問題。


今天給大家列舉一些真空鍍膜機(jī)使用過程中常見的故障和解決方法。


一、當(dāng)正在鍍膜時(shí)真空度突然下降


1、蒸發(fā)源水路膠圈損壞(更換膠圈)


2、坩堝被打穿(更換坩堝)


3、高壓電極密封處被擊穿(更換膠圈)


4、工轉(zhuǎn)動(dòng)密封處膠圈損壞(更換膠圈)


5、預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥)


6、高閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥)


7、機(jī)械泵停機(jī)可能是繼電器斷開(檢查繼電器是否正常)


8、烘烤引入線電極密封處被擊穿(更換膠圈)


9、擋板動(dòng)密封處膠圈損壞(更換膠圈)


10、玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂(更換玻璃)


二、鍍膜機(jī)抽真空時(shí)間過長,且達(dá)不到真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空


1、蒸發(fā)室有很多粉塵(應(yīng)清冼)


2、擴(kuò)散泵很久未換油(應(yīng)清冼換油)


3、前級(jí)泵反壓強(qiáng)太大機(jī)械泵真空度太低(應(yīng)清冼換油)


4、各動(dòng)密封膠圈損壞(更換膠圈)


5、由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化(更換膠圈)


6、蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞(更換膠圈)


7、各引入座螺釘、螺母有無松動(dòng)現(xiàn)象(重新壓緊)


8、高低預(yù)閥是否密封可靠(注油)


本文網(wǎng)址:http://toolhut.com.cn/news/583.html

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